洁净室静压差值大小的选择 洁净室与周围的空间必须保持一定的静压差,这是为了确保洁净室额正常工作状态或空气平衡暂时受到破坏时,空气流只能从空气洁净度等级高的房间或区域流向空气洁净度等级低的房间或区域,使洁净室内的空气洁净度不会受到污染空气的干扰。 电子产品生产工艺各不相同,因此各类洁净室所要求的空气洁净度不同;哥哥房间或区域散发的污染物种类、发尘量不同,所以各类洁净室之间的静压差只能随产品生产工艺要求确定。 若压差值选择过小,洁净室的压差很容易被破坏,洁净室的洁净度就会收到影响。若压差值选择过大,就会使净化空调系统的新风量增大,空调负荷增加,同时使中效、g效过滤器使用寿命缩短,故很不经济。另外,当室内静压差值**50pa时,门的开关就会受到影响。 洁净室静压差值大小的选择,洁净室地面应满足电子产品生产工艺和设备安装要求。如芯片生产用洁净厂房,采用垂直单向流洁净室时,一般采用回风活动地板;在洁净室不同部位因生产工艺和设备安装的要求,尚需选用不同承载能力、规格型号各不相同的活动地板。为防止洁净室内地面施工后,在使用过程发生裂缝、裂纹等,容易产尘和微粒积聚,为此,洁净室地面垫层推荐采用配筋方式。电子产品生产洁净室内的墙板和顶棚基本上均采用轻质壁板构造,各地所采用的轻质壁板有多种形式,如夹芯彩钢板、玻璃板、无机复合材料塑料板等。